多项选择题

超精密加工应具备的基本条件有()。

A.可靠的微量进给装置
B.工作台有较好低的低速运行特性
C.要求设备的抗振性、热稳定性好
D.对工件材料材质要求高
E.切削刀刃必须非常锋利