多项选择题
A.MEMS光刻B.注模复制C.X光深度同步辐射光刻D.电铸制模E.MEMS蚀刻
微机械主要特点有（）。A.超微机械加工B.性能稳定，可靠性高C.能耗低、灵敏度和工作效率高D.多功能和智能化E...
多项选择题微机械主要特点有（）。
A.超微机械加工B.性能稳定，可靠性高C.能耗低、灵敏度和工作效率高D.多功能和智能化E.适用于大批量生产，制造成本低
为实现超精密切削，刀具应具有以下性能（）。A.极高的硬度、耐用度和弹性模量B.刃口能磨得极其锋锐C.刀刃无缺陷...
多项选择题为实现超精密切削，刀具应具有以下性能（）。
A.极高的硬度、耐用度和弹性模量B.刃口能磨得极其锋锐C.刀刃无缺陷D.与工件材料的抗黏结性好，化学亲和性小，摩擦系数低E.刀口半径值极小
关于超精密加工说法正确的是（）。A.指加工精度高于0.01umB.超精密加工是微米工艺C.表面粗糙度在Ra0....
多项选择题关于超精密加工说法正确的是（）。
A.指加工精度高于0.01umB.超精密加工是微米工艺C.表面粗糙度在Ra0.03-0.005umD.加工精度达到极高程度的精密加工工艺E.表面质量达到极高程度的精密加工工艺
