从安全性的角度考虑，改良西门子法优于硅烷法。

闭路循环系统是指生产中的各种物料得到充分的利用，排出的废料极少。

判断题闭路循环系统是指生产中的各种物料得到充分的利用，排出的废料极少。

CZ法产生位错的环节和方式有（）。A.籽晶中的位错延伸、增殖B.晶体表面存在温度梯度，产生很强的热应力C.籽晶...

多项选择题CZ法产生位错的环节和方式有（）。

直拉单晶炉的主室包括（）。A.热绝缘筒和地盘B.石墨加热器C.石墨坩埚D.石英坩埚

多项选择题直拉单晶炉的主室包括（）。