溅射是个化学过程，而非物理过程。

传统互连金属线的材料是铝，即将取代它的金属材料是铜。

判断题传统互连金属线的材料是铝，即将取代它的金属材料是铜。

关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。

判断题关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。

阻挡层金属是淀积金属或金属塞，其作用是增加上下层材料的附着。

判断题阻挡层金属是淀积金属或金属塞，其作用是增加上下层材料的附着。