以下哪种不是刻蚀机的气体供应系统组成部分（）？

提高刻蚀机的刻蚀选择性可以通过（）。A.优化刻蚀气体成分B.调整刻蚀温度C.改进掩膜结构D.以上都是

单项选择题提高刻蚀机的刻蚀选择性可以通过（）。

刻蚀机的维护成本主要包括（）。A.零部件更换B.能源消耗C.人工费用D.以上都是

单项选择题刻蚀机的维护成本主要包括（）。

刻蚀机的性能评估指标不包括（）。A.设备价格B.刻蚀质量C.生产效率D.稳定性

单项选择题刻蚀机的性能评估指标不包括（）。