判断题
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铝、铜、钨、钛、单晶硅、铝－硅合金、铝铜合金及硅化物均属于导体膜。（）
判断题铝、铜、钨、钛、单晶硅、铝－硅合金、铝铜合金及硅化物均属于导体膜。（）
电阻丝加热蒸发应用范围广，可蒸发铂、钼、钛等高熔点金属材料。
判断题电阻丝加热蒸发应用范围广，可蒸发铂、钼、钛等高熔点金属材料。
溅射比蒸发制备的薄膜的台阶覆盖比要好。（）
判断题溅射比蒸发制备的薄膜的台阶覆盖比要好。（）
