问答题
气体流量、气体组分、沉积温度、气压、真空室几何构型等。因此，化学气相沉积涉及三个基本过程：（1）反应......
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化学气相沉积的主要缺点有哪些？
问答题化学气相沉积的主要缺点有哪些？
简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
问答题简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
何为低温泵，按其工作原理可分几种类型？
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