名词解释
如果扩散之前在硅片表面先淀积一层杂质，在整个扩散过程中这层杂志作为扩散的杂质源，不再有新源补充，这种扩散方式称为有限表面......
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分凝系数
名词解释分凝系数
湿氧氧化
名词解释湿氧氧化
水汽氧化
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