电子束可以当成车刀一样，让工件回转对外圆表面切槽，此时工件回转是进给运动。

电子束光刻主要用于制作掩膜。

判断题电子束光刻主要用于制作掩膜。

电子束可以通过磁透镜聚焦，并靠偏转线圈实现小角度的偏转，扩大加工区域。

判断题电子束可以通过磁透镜聚焦，并靠偏转线圈实现小角度的偏转，扩大加工区域。

电子束加工必须在真空条件下进行。

判断题电子束加工必须在真空条件下进行。