超声加工去除材料的机理是磨料的（）作用产生微裂纹、（）作用，以及液体在超声振动下产生的（）现象和楔入裂纹缝隙，也加强了破坏蚀除作用，故只能加工（）材料。

超声冲击磨蚀采用机械 能量，超声复合加工有：（）、（）、（）以及（）。

填空题超声冲击磨蚀采用机械 能量，超声复合加工有：（）、（）、（）以及（）。

常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

填空题常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。