问答题
切片决定了硅片的四个重要参数：晶向、厚度、斜度、翘度和平行度。
将硅单晶棒制成硅片的过程包括哪些工艺？
问答题将硅单晶棒制成硅片的过程包括哪些工艺？
小尺寸MOS器件中的二级效应包括哪些？
问答题小尺寸MOS器件中的二级效应包括哪些？
连线寄生效应对集成电路性能的影响。
问答题连线寄生效应对集成电路性能的影响。
