判断题
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硅料国标中有对表面金属含量要求。
判断题硅料国标中有对表面金属含量要求。
氮化硅制备方法有（）。A.硅粉直接氮化法B.碳热还原二氧化硅法C.自蔓燃法D.高温气相反应法E.等离子体气相反...
多项选择题氮化硅制备方法有（）。
A.硅粉直接氮化法 B.碳热还原二氧化硅法 C.自蔓燃法 D.高温气相反应法 E.等离子体气相反应法
硅料国标中1级料对碳含量的要求为（）atoms/cm3A.≤2.5×1016B.≤2.5×1017C.≤4.0...
单项选择题硅料国标中1级料对碳含量的要求为（）atoms/cm3
A.≤2.5×1016 B.≤2.5×1017 C.≤4.0×1016 D.≤4.0×1017
