简答题 光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

问答题例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。

问答题描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。

例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。

问答题例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。