利用衍射分布特征尺寸进行衍射测量时，当被测尺寸减小时，测量灵敏度如何变化？（）

测定爱里圆变化可以精密地测定或分析微小内孔的尺寸。

判断题测定爱里圆变化可以精密地测定或分析微小内孔的尺寸。

在实际的激光衍射测量系统中，没有物镜也是可以的。

判断题在实际的激光衍射测量系统中，没有物镜也是可以的。

激光衍射测量的相对误差可以达到0.1%量级。

判断题激光衍射测量的相对误差可以达到0.1%量级。