单项选择题
A.光源波长B.镜头质量C.刻蚀气体种类D.样品表面平整度
以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产()?A.激光刻蚀B.干法刻蚀C.湿法刻蚀D.三者均可
单项选择题以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产()?
A.激光刻蚀B.干法刻蚀C.湿法刻蚀D.三者均可
以下哪种不是刻蚀机的关键部件()?A.真空泵B.气体流量计C.加热装置D.冷却装置
单项选择题以下哪种不是刻蚀机的关键部件()?
A.真空泵B.气体流量计C.加热装置D.冷却装置
以下哪种材料对刻蚀的选择性较高()?A.金属B.半导体C.绝缘体D.有机物
单项选择题以下哪种材料对刻蚀的选择性较高()?
A.金属B.半导体C.绝缘体D.有机物