简答题 半导体工艺中常用的薄膜形成工艺有哪些？并举例说明它们可分别用于哪些材料的淀积（每种工艺只列一种材料）

什么是掺杂？硅半导体工艺中采用何种工艺实现掺杂？它们的基本原理是什么？

问答题什么是掺杂？硅半导体工艺中采用何种工艺实现掺杂？它们的基本原理是什么？

列出硅片制造厂的6个主要生产区，简要说明各区的主要作用，并举例至少一种各区的典型设备。

问答题列出硅片制造厂的6个主要生产区，简要说明各区的主要作用，并举例至少一种各区的典型设备。

试给出CMOS IC芯片制造的4种基础工艺，并说明每种工艺的主要作用。

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