问答题
应该将旋涂自动运行和整机运行按钮按起，以避免丢失程序和pick3报警。
白片厚度差如何调整？
问答题白片厚度差如何调整？
偏心超过20怎么办？
问答题偏心超过20怎么办？
母盘吸真空度不足怎么办？
问答题母盘吸真空度不足怎么办？
