蒸汽SiO₂厂控指标为≤（）ug/L。

二段出口CH4含量厂控指标为≤（）。

填空题二段出口CH₄含量厂控指标为≤（）。

甲烷化出口微量厂控指标是≤（）ml/m3。

填空题甲烷化出口微量厂控指标是≤（）ml/m³。

101D出口H2厂控指标为≥（）。

填空题101D出口H₂厂控指标为≥（）。