三坐标测量仪可以代替多种表面测量工具及品费的组合量规，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟。

激光干涉仪对位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。

判断题激光干涉仪对位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。

柱式桥架型比床式桥架型有较大且更好的刚性，大部分用在较大型的三坐标测量仪上。

判断题柱式桥架型比床式桥架型有较大且更好的刚性，大部分用在较大型的三坐标测量仪上。

自准直仪是利用光学自准直原理测量微小角度变化的仪器，也可以对平直接面与直线度。

判断题自准直仪是利用光学自准直原理测量微小角度变化的仪器，也可以对平直接面与直线度。