问答题
从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统。
设计制备NMOSFET的工艺，并画出流程图。
问答题设计制备NMOSFET的工艺，并画出流程图。
简述光刻的工艺过程。
问答题简述光刻的工艺过程。
集成电路工艺主要分为哪几大类，每一类中包括哪些主要工艺，各工艺的主要作用是什么？
问答题集成电路工艺主要分为哪几大类，每一类中包括哪些主要工艺，各工艺的主要作用是什么？
