单项选择题
A.能量淀积 B.动量淀积 C.能量振荡 D.动量振荡
哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。A.低温注入B.常温注入C.高温注入D.分子注入E.双注入
多项选择题哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。
A.低温注入 B.常温注入 C.高温注入 D.分子注入 E.双注入
下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。A.注入离子的质量B.靶的种类C.注入温度D.注入速度E.注入剂量
多项选择题下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。
A.注入离子的质量 B.靶的种类 C.注入温度 D.注入速度 E.注入剂量
当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。A.非晶层B.单晶层C.多晶层...
单项选择题当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。
A.非晶层 B.单晶层 C.多晶层 D.超晶层
