柔性制造系统的组成包括：（），（），信息控制系统和一套计算机控制系统。

工业机器人一般由机械系统，（），（）和（）等几个部分组成。

填空题工业机器人一般由机械系统，（），（）和（）等几个部分组成。

微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

优化设计的三要素是：（），（），（）。

填空题优化设计的三要素是：（），（），（）。