简答题 描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？

列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。

问答题列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。

刻蚀的目的是什么？

问答题刻蚀的目的是什么？

列举下一代光刻技术中4种正在研发的光刻技术。

问答题列举下一代光刻技术中4种正在研发的光刻技术。