问答题

论述题 分别简述RVD和GILD的原理,它们的优缺点及应用方向。

【参考答案】

快速气相掺杂(RVD,RapidVapor-phaseDoping)利用快速热处理过程(RTP)将处在掺杂剂气氛中的硅片......

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