单项选择题
A.正离子柱区 B.法拉第暗区 C.阳极辉光 D.阴极辉光
PECVD所使用的主要原料是（）。A.SiHCl3B.SiO2C.SiD.SiH4
单项选择题PECVD所使用的主要原料是（）。
A.SiHCl3 B.SiO2 C.Si D.SiH4
α-Si指（）。A.微晶硅B.多晶硅C.单晶硅D.非晶硅
单项选择题α-Si指（）。
A.微晶硅B.多晶硅C.单晶硅D.非晶硅
与光致衰减效应联系最紧密的元素是（）。A.OB.CC.BD.H
单项选择题与光致衰减效应联系最紧密的元素是（）。
A.O B.C C.B D.H
