多项选择题
A.抛光压力B.抛光液PH值C.转速D.抛光区域温度
高温回流一般用于（）A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
多项选择题高温回流一般用于（）
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
硼的扩散主要分为（）A.固态扩散B.液态扩散C.气态扩散D.等离子扩散
多项选择题硼的扩散主要分为（）
A.固态扩散B.液态扩散C.气态扩散D.等离子扩散
杂质的扩散方式有（）A.替位式B.间隙式C.替位-间隙式D.跳跃式
多项选择题杂质的扩散方式有（）
A.替位式B.间隙式C.替位-间隙式D.跳跃式
