滚珠丝杠副中滚珠的循环方式有（）和（）两种。

电容式位移传感器是将被测物理量转换为（）变化的装置。

填空题电容式位移传感器是将被测物理量转换为（）变化的装置。

传感器的灵敏度反映了被测量的数值处在稳定状态时，（）的变化量与（）的变化量的比值。

填空题传感器的灵敏度反映了被测量的数值处在稳定状态时，（）的变化量与（）的变化量的比值。

机电一体化技术是（）与（）的结合；一个较完善的机电一体化系统包含：（）五部分。

填空题机电一体化技术是（）与（）的结合；一个较完善的机电一体化系统包含：（）五部分。