问答题
必要条件：造成一个气体放电的空间；将镀料原子（金属原子或非金属原子）引进放电空间，使其部分离化。成膜条件：n〉nj
简述溅射的概念及溅射参数？
问答题简述溅射的概念及溅射参数？
简述射频辉光放电的特点？
问答题简述射频辉光放电的特点？
简述正常辉光放电和异常辉光放电的特征？
问答题简述正常辉光放电和异常辉光放电的特征？
