问答题
物理气相沉积（PVD）按沉积薄膜气相物质的生成方式和特征主要可以分为哪几种？
问答题物理气相沉积（PVD）按沉积薄膜气相物质的生成方式和特征主要可以分为哪几种？
薄膜有哪些特征？举例说明薄膜的种类和应用。
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辉光放电的原理与应用是什么？
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