水平线性的好坏影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差不大于2%。

仪器工作频率的好坏直接影响到对缺陷当量的判断。

判断题仪器工作频率的好坏直接影响到对缺陷当量的判断。

将一台仪器与一个参考标准比较的过程叫校准或标定。

判断题将一台仪器与一个参考标准比较的过程叫校准或标定。

CSK-ⅢA试块的反射体孔径是φ1×6。

判断题CSK-ⅢA试块的反射体孔径是φ1×6。