灵敏度余量是（）和（）的综合性能。

一般要求仪器的分辨力（）。A、≤2㎜B、≤6㎜C、≥2㎜D、≥6㎜

单项选择题一般要求仪器的分辨力（）。

使用（）会使动态范围减小。

填空题使用（）会使动态范围减小。

垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于（）。

填空题垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于（）。