问答题
光刻加工可分为两个加工阶段，第一阶段为原版制作，生成工作原版或工作掩膜，为光刻加工时用；第二阶段为光刻。
微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？
问答题微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？
超精密机床部件有什么特点，超精密机床的进给机构通常采用什么样装置？精密与超精密加工对环境有哪些要求？
问答题超精密机床部件有什么特点，超精密机床的进给机构通常采用什么样装置？精密与超精密加工对环境有哪些要求？
精密磨削、精密与超精密砂带磨削机理。
问答题精密磨削、精密与超精密砂带磨削机理。
