SiO₂作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。

SiO2中5价的网络形成者可使结构强度增加，而3价的网络形成者可使结构强度减小。

判断题SiO₂中5价的网络形成者可使结构强度增加，而3价的网络形成者可使结构强度减小。

热氧化生长的SiO2都是四面体结构，有桥键氧、非桥键氧，桥键氧越多结构越致密，SiO2中有离子键成份，氧空位表...

判断题热氧化生长的SiO₂都是四面体结构，有桥键氧、非桥键氧，桥键氧越多结构越致密，SiO₂中有离子键成份，氧空位表现为带正电。

热氧化过程中是硅向二氧化硅外表面运动，在二氧化硅表面与氧化剂反应生成二氧化硅。

判断题热氧化过程中是硅向二氧化硅外表面运动，在二氧化硅表面与氧化剂反应生成二氧化硅。