问答题
1、衬底制备;2、生长埋层(埋层氧化、光刻、掺杂);3、外延生长;4、生长隔离区(隔......
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简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?
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单晶硅与多晶硅的区别?
问答题单晶硅与多晶硅的区别?
多层电极有哪几种?分为几层,每一层各有什么作用?
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