化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为（）。

以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）A.薄膜成分易控B.温度高C.均匀性D.台阶的覆盖性好

单项选择题以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）

以下哪些是蒸发沉积的要素？（）A.真空B.氧气C.加热D.温度较低基片

多项选择题以下哪些是蒸发沉积的要素？（）

实现应变隔离的方法有哪些？（）A.整体硬化B.局部硬化C.整体软化D.局部软化

多项选择题实现应变隔离的方法有哪些？（）