通常湿法刻蚀的刻蚀轮廓比干法刻蚀好。

先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。

判断题先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。

在现代集成电路加工技术中，主流的掺杂技术是扩散掺杂。

判断题在现代集成电路加工技术中，主流的掺杂技术是扩散掺杂。

离子注入是集成电路制造中最为重要的工序。

判断题离子注入是集成电路制造中最为重要的工序。