名词解释
当离子沿晶轴方向入射时，大部分离子将沿沟道运动，不会受到原子核的散射，方向基本不变，可以走得很远。
离子注入的晶格损伤
名词解释离子注入的晶格损伤
级联碰撞
名词解释级联碰撞
光刻胶
名词解释光刻胶
