溅射相对蒸镀具有不少优势，但某些特殊材质薄膜的制备上电子束蒸镀更有优势。

金属化是指根据电路设计要求，把硅片上制成各种晶体管、二极管等元器件用金属薄膜固定的方式。

判断题金属化是指根据电路设计要求，把硅片上制成各种晶体管、二极管等元器件用金属薄膜固定的方式。

电迁移可产生空洞或小丘，引起短路或开路，从而导致器件失效。

判断题电迁移可产生空洞或小丘，引起短路或开路，从而导致器件失效。

在外电场作用下，导体内运动的电子将其动能传给金属离子所引起的质量运输现象称为电迁移。

判断题在外电场作用下，导体内运动的电子将其动能传给金属离子所引起的质量运输现象称为电迁移。