论述题 简述常规热氧化办法制备SiO₂介质薄膜的动力学过程，并说明在什么情况下氧化过程由反应控制或扩散控制。

简述杂质在SiO2的存在形式及如何调节SiO2的物理性质。

问答题简述杂质在SiO₂的存在形式及如何调节SiO₂的物理性质。

以P2O2为例说明SiO2的掩蔽过程。

问答题

以P₂O₂为例说明SiO₂的掩蔽过程。

说明SiO2的结构和性质，并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。

问答题说明SiO₂的结构和性质，并简述结晶型SiO₂和无定形SiO₂的区别。