问答题
1） 图形转换的保真度高指掩膜板上的图形不失真地转移到硅片表面2） 选择比......
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简述湿法和干法的定义与区别、特点？
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什么样的光刻设备对应的过程是怎样的？
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简述正性光刻和负性光刻的概念？优缺点？
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