电感耦合等离子体质谱仪一般由样品引入系统、接口部分、离子聚焦系统、（）、（）、（）和真空系统等组成。

ICP-MS中气动雾化器的机理是利用（）产生气溶胶。

填空题ICP-MS中气动雾化器的机理是利用（）产生气溶胶。

ICP-MS旋流雾室是利用（）分离大雾滴的。

填空题ICP-MS旋流雾室是利用（）分离大雾滴的。

ICP-MS的接口一般由（）和（）组成。

填空题ICP-MS的接口一般由（）和（）组成。