问答题

简答题 三级关停和四级关停的区别是什么?对于工艺模块设备而言,三级关停和二级关停的最本质的区别又是什么?

【参考答案】

(一)ESD 2级关断(F&G关断)
这级关断为火灾及可燃气体严重泄漏关断。
ESD&en......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)