自蔓延高温合成法中着火的三种形式包括（）。

影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。A.沉积温度的确定B.反应混合物的选择C.系统内总压和气体总流速D.原材料...

多项选择题影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。

相比于立式开口体系，应用卧式开口体系制备的薄膜均匀性更好。

判断题相比于立式开口体系，应用卧式开口体系制备的薄膜均匀性更好。

相比于常压化学气相沉积，低压化学气相沉积成膜速率更快。

判断题相比于常压化学气相沉积，低压化学气相沉积成膜速率更快。