电子束流控制包括（）、束流聚焦和（）等三个方面。

电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。

填空题电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。

电子束加工可以加工出（）、锐边。

填空题电子束加工可以加工出（）、锐边。

电子束加工时电子的动能绝大部分转变为（），使材料局部瞬时的快速溶蚀、气化蒸发而去除表层材料，并随真空系统而抽走...

填空题电子束加工时电子的动能绝大部分转变为（），使材料局部瞬时的快速溶蚀、气化蒸发而去除表层材料，并随真空系统而抽走。