问答题
实际的扩散温度一般为900-1200℃，在这个温度范围内，杂质在硅中的固溶度随温度变化不大，采用恒定表面源......(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
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假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
问答题假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
问答题以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。
问答题写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。
