用于长度测量的激光干涉仪由激光头、干涉仪和（）三部分组成。

三坐标测量机具有3个相互垂直的X、Y、Z（），可对空间任意处的点、线、面及其相互位置实施测量。

填空题三坐标测量机具有3个相互垂直的X、Y、Z（），可对空间任意处的点、线、面及其相互位置实施测量。

检验桥板是用于测量机床导轨间、其他部件与导轨间的（）的主要工具。

填空题检验桥板是用于测量机床导轨间、其他部件与导轨间的（）的主要工具。

热继电器具有热惯性和机械惰性，因此不能做（）保护。

填空题热继电器具有热惯性和机械惰性，因此不能做（）保护。