问答题
光刻区，刻蚀区和离子注入区
列出芯片厂中6个不同的生产区域并对每一个区域做简单的描述。
问答题列出芯片厂中6个不同的生产区域并对每一个区域做简单的描述。
什么是等离子体，为什么要在等离子体中使用RF能量？
问答题什么是等离子体，为什么要在等离子体中使用RF能量？
什么是外延层，为什么在硅片上使用它？
问答题什么是外延层，为什么在硅片上使用它？
