问答题
底膜处理、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶、检验
何为分辨率、对比度、IC制造对光刻技术有何要求？
问答题何为分辨率、对比度、IC制造对光刻技术有何要求？
离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？
问答题离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？
离子注入主要部件有哪些？
问答题离子注入主要部件有哪些？
