问答题

简答题 比较硅单晶锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点?

【参考答案】

CZ法工艺成熟可拉制大直径硅锭,但受坩锅熔融带来的O等杂质浓度高,存在一定杂质分布,因此,相对于MCZ和FZ法,生长的硅......

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