在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）

异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）A.磁控溅射B.电子束蒸镀C.CBED.MBE

多项选择题异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）

关于ALD下列那种说法正确（）A.只能生长单组份纳米膜B.生成膜有良好的台阶覆盖特性C.可以精确控制膜厚到原子...

多项选择题关于ALD下列那种说法正确（）

碳纳米管手性分为锯齿型，（），其他空间螺旋型。

填空题碳纳米管手性分为锯齿型，（），其他空间螺旋型。